 
|
BFU Мега-размерный фан-фильтр с нижним доступом. Полупроводниковый фильтрационный режим и нулевое время простоя.
Подробная информация о продукте:
| Place of Origin: | Guangdong, China |
| Фирменное наименование: | MRJH |
| Сертификация: | ISO 14644,CE,GMP,FDA,UL |
| Номер модели: | Дно BFU отсоединительное FFU 1220X1220X450 |
Оплата и доставка Условия:
| Minimum Order Quantity: | 1 |
|---|---|
| Цена: | Contact Us |
| Время доставки: | 7-15 дней |
|
Подробная информация |
|||
| Сделан по заказу: | Поддержка | Официальный вебсайт: | www.ffu-cleanroom.com |
|---|---|---|---|
| Сертификация: | ISO,CE,UL,RoHS | ||
Характер продукции
BFU Mega-Size Bottom-Access FFU Ультра-высокопроизводительная система воздуха в чистых помещениях фильтрация полупроводников и нулевое время простоя
BFU Mega-Size Bottom-Access FFU 1220X1220X450 представляет собой прорыв в крупномасштабной обработке воздуха в чистых помещениях, специально разработанный для полупроводниковых гигафаб, производства ЖК-дисплеев,и производственные предприятия по производству вакцин, требующие непрерывной работы в среде класса 1-3 по ISOС самой большой в отрасли площадью покрытия одного блока (1,48 м2), эта FFU обеспечивает 2,200 м3/ч воздушного потока при сохранении исключительных <0,2% колебаний скорости в ультрачистых зонах.
|
Наименование параметра |
Стоимость |
|
Материал |
Коробка: оцинкованная алюминиевая плита; Диффузер: холодная плита с печеной краской |
|
Система вентилятора |
Двигатель MRJH + железный винт |
|
Фильтрация |
Алюминиевый каркас HEPA фильтр (1170×570×90), Эффективность: 99,99% @0,3μm (H13) |
|
Скорость воздуха |
00,45 ≈ 0,75 м/с ± 3% (трехступенчатый регулируемый) |
|
Номинальный объем воздуха |
2000 м3/ч |
|
Уровень шума |
4655 dB ±5 dB (статическое испытание на 1,5 м ниже фильтра) |
|
Силовое питание |
220В/50Гц, номинальная мощность: 170Вт/200Вт ±5Вт |
|
Соединение фланца |
Необязательно D=350 мм |
|
Размер открытия |
Цветовая стальная плита: 1225×625 мм |
|
Размер |
1220X1220X450 мм |
|
Сертификации |
ISO 14644-1,ISO 9001,CE |
| Параметр/особенность | Наш продукт | Средний показатель рынка | Преимущества |
|---|---|---|---|
| H13 Количество плит фильтра | 315 складков | 260 складков | Большая площадь фильтрации, повышение эффективности фильтрации и удержание пыли. |
| Фильтр HEPA | - | - | Увеличение толщины фильтрующей среды повышает эффективность фильтрации и срок службы. |
| Высота плести | 50 мм | 38 мм | Более толстые фильтрующие среды улучшают эффективность фильтрации и долговечность. |
| Бренд защитной сетки | Высококачественная марка 9N | Обычные марки | Высокая поддержка и защита, обеспечивающая стабильность конструкции. |
| Толщина рамы | 10,0 мм | 0.7 мм | Более прочная рама для повышения долговечности и снижения риска деформации. |
| Процесс и материалы | 50 единиц на партию, клей Fuming AB, изготовленный с помощью 400 000 юаней | Стандартные процессы | Тесная, равномерная уплотнение предотвращает утечки и гарантирует надежную фильтрацию. |
| Средняя скорость воздушного потока | 00,8 м/с | 00,65 м/с | Более высокая пропускная способность воздуха при меньшем сопротивлении, повышая эффективность системы. |
| Двигатель | Водонепроницаемость | Не водонепроницаемые | Улучшенная безопасность и надежность в различных условиях. |
Ключевые особенности
1.Устойчивое строительство: оцинкованная алюминиевая коробка с диффузором печенья обеспечивает коррозионную стойкость и долговечность.
2.Высокопроизводительная система вентиляторов: мотор MRJH с прочным железным винтом обеспечивает стабильный воздушный поток и повышенную долговечность.
3.Точный контроль воздушного потока: трехскоростная регулируемая скорость ветра (0,45 ≈ 0,75 м/с ± 3%) для гибких требований к чистым помещениям.
4.Фильтрация H13: нераздельный HEPA-фильтр (1170×570×90) достигает 99,99% эффективности при частицах 0,3 мкм.
5.Высокомощный воздушный поток: номинальный объем воздуха 2000 м3/ч для вентиляции больших чистых помещений.
6.Дизайн с отсоединяемым дном: упрощает техническое обслуживание и замену фильтра.
7.Совместимость больших фланцев: поддерживает подключения фланцев (D = 350 мм) для интеграции модульных систем.
8.Низкий уровень шума: предназначен для работы на 46-55 дБ (± 5 дБ) на 1,5 м ниже фильтра.
Сценарии применения
Очистка воздуха в чистых помещениях в фармацевтических, электронных и биотехнологических учреждениях.
Производственные зоны, требующие сертификации ISO на фильтрацию H13 с большим объемом воздушного потока (2000 м3/ч).
Устройства, требующие крупномасштабной модульной установки (350 мм совместимости фланца) и легкого обслуживания.
Частые вопросы:
1Вопрос: Как мегаразмерный дизайн 1220X1220X450 мм приносит пользу гигафабрам полупроводников по сравнению со стандартными ФФУ?
Ответ: Наш мега-размерный ФФУ обеспечивает три преимущества для 300-мм вафровых фабрик:
Снижение проникновения потолка на 70% (1 блок заменяет 4 стандартных FFU), минимизируя риск загрязнения
Непревзойденная однородность воздушного потока (<± 0,15% изменение скорости) по всем фотолитографическим отсекам
Интегрированные сервисные рельсы позволяют автоматически менять фильтры без нарушения протоколов чистой комнаты (класс ISO 1 поддерживается во время технического обслуживания)
2Вопрос: Что делает ваше "нулевое время простоя" по-настоящему отличается от других FFU с нижним доступом?
Ответ: Система объединяет три запатентованные технологии:
Автозапечатывающийся NanoGasketTM поддерживает отрицательное давление во время замены фильтра
Робототехника с высокоточностью выполняет изменения H14 ULPA за 110 секунд (против 30+ минут вручную)
Умные счетчики частиц автоматически проверяют целостность фильтра после обслуживания, устраняя традиционное четырехчасовое время простоя для повторной квалификации
3Вопрос: Как фильтрация полупроводникового класса защищает процессы литографии EUV?
О: Наше решение нацелено на три наиболее серьезные угрозы загрязнения литографии:
Контроль AMC: слой активированного угля удаляет > 99% молекулярных загрязнителей в воздухе
Поглощение наночастиц: 99,9995% эффективности на частицах 0,12μm (критически важно для добычи узлов < 3nm)
Устранение вибрации: магнитное левитация достигает 0,03 мкм/с вибрации - 10 раз лучше, чем требования ASML